अर्धचालकहरूमा उच्च-शुद्धता ग्यास पाइपिङको महत्त्व

As अर्धचालकर माइक्रोइलेक्ट्रोनिक टेक्नोलोजीहरू उच्च प्रदर्शन र उच्च एकीकरण तिर विकसित हुन्छन्, उच्च आवश्यकताहरू इलेक्ट्रोनिक विशेष ग्यासहरूको शुद्धतामा राखिन्छ। उच्च शुद्धता ग्यास पाइपिङ प्रविधि उच्च शुद्धता ग्यास आपूर्ति प्रणाली को एक महत्वपूर्ण भाग हो। यो उच्च-शुद्धता ग्यासहरू प्रदान गर्ने मुख्य प्रविधि हो जसले ग्यास प्रयोग बिन्दुहरूमा आवश्यक आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ र अझै पनि योग्य गुणस्तर कायम राख्छ।

उच्च शुद्धता पाइपिङ प्रविधिमा प्रणालीको सही डिजाइन, पाइप फिटिङ र सहायक सामग्रीको चयन, निर्माण र स्थापना र परीक्षण समावेश छ।

01 ग्याँस प्रसारण पाइपिंग को सामान्य अवधारणा

सबै उच्च शुद्धता र उच्च सफाई ग्यासहरू पाइपलाइनहरू मार्फत टर्मिनल ग्यास पोइन्टमा ढुवानी गर्न आवश्यक छ। ग्यासको लागि प्रक्रिया गुणस्तर आवश्यकताहरू पूरा गर्न, जब ग्यास निर्यात सूचकांक निश्चित छ, यो पाइपिंग प्रणालीको सामग्री चयन र निर्माण गुणस्तरमा ध्यान दिन आवश्यक छ। ग्यास उत्पादन वा शुद्धीकरण उपकरणको शुद्धताको अतिरिक्त, यो ठूलो मात्रामा पाइपलाइन प्रणालीको धेरै कारकहरूद्वारा प्रभावित हुन्छ। तसर्थ, पाइपहरूको छनोटले सान्दर्भिक शुद्धीकरण उद्योग सिद्धान्तहरू पालना गर्न र रेखाचित्रहरूमा पाइपहरूको सामग्री चिन्ह लगाउन आवश्यक छ।

02 ग्याँस यातायात मा उच्च शुद्धता पाइपलाइन को महत्व

उच्च-शुद्धता ग्यास ढुवानीमा उच्च-शुद्धता पाइपलाइनहरूको महत्त्व स्टेनलेस स्टील गल्ने प्रक्रियाको क्रममा, प्रत्येक टनले लगभग 200 ग्राम ग्यास अवशोषित गर्न सक्छ। स्टेनलेस स्टील प्रशोधन गरिसकेपछि, यसको सतहमा विभिन्न प्रदूषकहरू मात्र अड्किएका छैनन्, तर यसको धातुको जालीमा निश्चित मात्रामा ग्यास पनि अवशोषित हुन्छ। जब पाइपलाइनबाट हावा प्रवाह हुन्छ, धातुले अवशोषित गरेको ग्यासको भाग वायुप्रवाहमा पुन: प्रवेश गर्दछ र शुद्ध ग्यासलाई प्रदूषित गर्दछ।

जब पाइपमा हावा प्रवाह अवरुद्ध हुन्छ, पाइपले ग्यासको माध्यमबाट गुज्रिरहेको दबाब शोषण बनाउँछ। जब हावा प्रवाह बन्द हुन्छ, पाइपले सोस्ने ग्यासले दबाब घटाउने विश्लेषण बनाउँछ, र विश्लेषण गरिएको ग्यास पनि पाइपमा शुद्ध ग्यासमा अशुद्धताको रूपमा प्रवेश गर्छ।

एकै समयमा, सोखन र विश्लेषण चक्रले पाइपको भित्री सतहमा धातुलाई निश्चित मात्रामा पाउडर उत्पादन गर्नेछ। यो धातुको धुलो कणले पाइपमा रहेको शुद्ध ग्यासलाई पनि प्रदूषित गर्छ। पाइप को यो विशेषता धेरै महत्त्वपूर्ण छ। ढुवानी गरिएको ग्यासको शुद्धता सुनिश्चित गर्न, न केवल यो आवश्यक छ कि पाइपको भित्री सतहमा अत्यन्त उच्च चिल्लोपन छ, तर यो पनि उच्च पहिरन प्रतिरोध हुनुपर्छ।

जब ग्यासमा बलियो संक्षारक गुणहरू हुन्छन्, पाइपिङको लागि जंग प्रतिरोधी स्टेनलेस स्टील पाइपहरू प्रयोग गर्नुपर्छ। अन्यथा, क्षरणको कारण पाइपको भित्री सतहमा क्षरणको दाग देखा पर्नेछ। गम्भीर अवस्थाहरूमा, धातुका ठूला टुक्राहरू फ्याँकिन्छ वा छिद्रित हुन्छ, जसले गर्दा ढुवानी भइरहेको शुद्ध ग्यास दूषित हुन्छ।

03 पाइप सामग्री

पाइपको सामग्री चयन प्रयोगको आवश्यकता अनुसार चयन गर्न आवश्यक छ। पाइपको गुणस्तर सामान्यतया पाइपको भित्री सतहको नरमपन अनुसार मापन गरिन्छ। नरमपन जति कम हुन्छ, कण बोक्ने सम्भावना त्यति नै कम हुन्छ। सामान्यतया तीन प्रकारमा विभाजित:

एउटा होEP ग्रेड 316L पाइप, जसलाई इलेक्ट्रोलाइटिकली पॉलिश गरिएको छ (इलेक्ट्रो-पोलिस)। यो जंग प्रतिरोधी छ र कम सतह खुरदना छ। Rmax (अधिकतम चोटी देखि उपत्यका उचाइ) लगभग 0.3μm वा कम छ। यसको उच्चतम समतलता छ र माइक्रो-एडी धाराहरू बनाउन सजिलो छैन। दूषित कणहरू हटाउनुहोस्। प्रक्रियामा प्रयोग हुने प्रतिक्रिया ग्याँस यस स्तरमा पाइप हुनुपर्छ।

एउटा हो एबीए ग्रेड 316Lपाइप, जसलाई Bright Anneal द्वारा उपचार गरिएको छ र प्रायः चिपसँग सम्पर्कमा रहेका तर GN2 र CDA जस्ता प्रक्रिया प्रतिक्रियामा भाग नलिने ग्यासहरूको लागि प्रयोग गरिन्छ। एउटा हो AP पाइप (एनेलिङ र पिकिङ), जसलाई विशेष रूपमा उपचार गरिँदैन र सामान्यतया बाहिरी पाइपहरूको डबल सेटहरूको लागि प्रयोग गरिन्छ जुन ग्यास आपूर्ति लाइनहरूको रूपमा प्रयोग हुँदैन।

04 पाइपलाइन निर्माण

पाइपको मुखको प्रशोधन यस निर्माण प्रविधिको मुख्य बिन्दुहरू मध्ये एक हो। पाइपलाइन काट्ने र प्रिफेब्रिकेशन सफा वातावरणमा गरिन्छ, र एकै समयमा, यो सुनिश्चित गरिन्छ कि पाइपलाइनको सतहमा कुनै हानिकारक चिन्ह वा क्षति छैन। पाइपलाइन खोल्नु अघि पाइपलाइनमा नाइट्रोजन फ्लसिङको लागि तयारी गर्नुपर्छ। सिद्धान्तमा, वेल्डिंग उच्च-शुद्धता र उच्च-सफाई ग्यास प्रसारण र वितरण पाइपलाइनहरू ठूलो प्रवाहको साथ जडान गर्न प्रयोग गरिन्छ, तर प्रत्यक्ष वेल्डिंगलाई अनुमति छैन। आवरण जोडहरू प्रयोग गर्नुपर्छ, र प्रयोग गरिएको पाइप सामग्री वेल्डिङको समयमा संरचनामा कुनै परिवर्तन नगर्न आवश्यक छ। यदि अत्यधिक कार्बन सामग्री भएको सामग्री वेल्डेड गरिएको छ भने, वेल्डिंग भागको हावा पारगम्यताले पाइप भित्र र बाहिरको ग्यासलाई एकअर्कामा छिर्नको लागि निम्त्याउनेछ, कन्भेइङ ग्यासको शुद्धता, सुक्खापन र सरसफाइलाई नष्ट गर्दछ, जसले गम्भीर परिणामहरू निम्त्याउँछ। र उत्पादनको गुणस्तरलाई असर गर्छ।

संक्षेपमा, उच्च-शुद्धता ग्यास र विशेष ग्यास प्रसारण पाइपलाइनहरूको लागि, विशेष रूपमा उपचार गरिएको उच्च-शुद्धता स्टेनलेस स्टील पाइप प्रयोग गर्नुपर्छ, जसले उच्च-शुद्धता पाइपलाइन प्रणाली (पाइपलाइनहरू, पाइप फिटिंगहरू, भल्भहरू, VMB, VMP सहित) ओगटेको छ। उच्च शुद्धता ग्यास वितरणमा महत्त्वपूर्ण मिशन।