As अर्धचालकर माइक्रोइलेक्ट्रोनिक प्रविधिहरू उच्च प्रदर्शन र उच्च एकीकरण तर्फ विकसित हुन्छन्, इलेक्ट्रोनिक विशेष ग्यासहरूको शुद्धतामा उच्च आवश्यकताहरू राखिन्छन्। उच्च-शुद्धता ग्यास पाइपिङ प्रविधि उच्च-शुद्धता ग्यास आपूर्ति प्रणालीको एक महत्त्वपूर्ण भाग हो। यो उच्च-शुद्धता ग्यासहरू प्रदान गर्ने प्रमुख प्रविधि हो जसले ग्यास प्रयोग बिन्दुहरूमा आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ र अझै पनि योग्य गुणस्तर कायम राख्छ।
उच्च-शुद्धता पाइपिङ प्रविधिमा प्रणालीको सही डिजाइन, पाइप फिटिंग र सहायक सामग्रीहरूको छनोट, निर्माण र स्थापना र परीक्षण समावेश छ।
०१ ग्यास प्रसारण पाइपिङको सामान्य अवधारणा
सबै उच्च-शुद्धता र उच्च-सफाई ग्यासहरू पाइपलाइनहरू मार्फत टर्मिनल ग्यास बिन्दुमा ढुवानी गर्न आवश्यक छ। ग्यासको लागि प्रक्रिया गुणस्तर आवश्यकताहरू पूरा गर्न, जब ग्यास निर्यात सूचकांक निश्चित हुन्छ, पाइपिङ प्रणालीको सामग्री चयन र निर्माण गुणस्तरमा ध्यान दिनु बढी आवश्यक हुन्छ। ग्यास उत्पादन वा शुद्धीकरण उपकरणको शुद्धताको अतिरिक्त, यो पाइपलाइन प्रणालीको धेरै कारकहरूबाट धेरै हदसम्म प्रभावित हुन्छ। त्यसकारण, पाइपहरूको छनोटले सान्दर्भिक शुद्धीकरण उद्योग सिद्धान्तहरूको पालना गर्न र रेखाचित्रहरूमा पाइपहरूको सामग्री चिन्ह लगाउन आवश्यक छ।
०२ ग्यास ढुवानीमा उच्च-शुद्धता पाइपलाइनहरूको महत्त्व
उच्च शुद्धता भएको ग्यास ढुवानीमा उच्च शुद्धता भएको पाइपलाइनको महत्त्व स्टेनलेस स्टील पग्लने प्रक्रियाको क्रममा, प्रत्येक टनले लगभग २०० ग्राम ग्यास सोस्न सक्छ। स्टेनलेस स्टील प्रशोधन गरिसकेपछि, यसको सतहमा विभिन्न प्रदूषकहरू मात्र अड्किएका हुँदैनन्, तर यसको धातुको जालीमा निश्चित मात्रामा ग्यास पनि सोसिन्छ। पाइपलाइनबाट हावा प्रवाह हुँदा, धातुले सोस्ने ग्यासको भाग हावा प्रवाहमा पुन: प्रवेश गर्नेछ र शुद्ध ग्यासलाई प्रदूषित गर्नेछ।
जब पाइपमा हावा प्रवाह निरन्तर हुन्छ, पाइपले ग्यासबाट गुज्रने ठाउँमा दबाब सोस्छ। जब हावा प्रवाह बन्द हुन्छ, पाइपद्वारा सोसिएको ग्यासले दबाब घटाउने विश्लेषण बनाउँछ, र विश्लेषण गरिएको ग्यास पनि अशुद्धताको रूपमा पाइपमा रहेको शुद्ध ग्यासमा प्रवेश गर्छ।
एकै समयमा, सोखन र विश्लेषण चक्रले पाइपको भित्री सतहमा रहेको धातुलाई निश्चित मात्रामा पाउडर उत्पादन गर्नेछ। यो धातुको धुलोको कणले पाइपमा रहेको शुद्ध ग्यासलाई पनि प्रदूषित गर्दछ। पाइपको यो विशेषता धेरै महत्त्वपूर्ण छ। ढुवानी गरिएको ग्यासको शुद्धता सुनिश्चित गर्न, पाइपको भित्री सतहमा अत्यन्त उच्च चिल्लोपन हुनु मात्र होइन, तर यसमा उच्च पहिरन प्रतिरोध पनि हुनु आवश्यक छ।
जब ग्यासमा बलियो संक्षारक गुणहरू हुन्छन्, पाइपिङको लागि जंग प्रतिरोधी स्टेनलेस स्टील पाइपहरू प्रयोग गर्नुपर्छ। अन्यथा, जंगको कारणले पाइपको भित्री सतहमा जंगका दागहरू देखा पर्नेछन्। गम्भीर अवस्थामा, धातुका ठूला टुक्राहरू छिल्नेछन् वा प्वाल पर्नेछन्, जसले गर्दा ढुवानी भइरहेको शुद्ध ग्यास दूषित हुनेछ।
०३ पाइप सामग्री
पाइपको सामग्री छनोट प्रयोगको आवश्यकता अनुसार छनोट गर्नुपर्छ। पाइपको गुणस्तर सामान्यतया पाइपको भित्री सतहको खस्रोपन अनुसार मापन गरिन्छ। खस्रोपन जति कम हुन्छ, कणहरू बोक्ने सम्भावना त्यति नै कम हुन्छ। सामान्यतया तीन प्रकारमा विभाजित:
एउटा होEP ग्रेड ३१६L पाइप, जुन इलेक्ट्रोलाइटिकली पालिस गरिएको छ (इलेक्ट्रो-पोलिश)। यो जंग प्रतिरोधी छ र कम सतह खुरदरापन छ। Rmax (अधिकतम शिखर देखि उपत्यका उचाइ) लगभग ०.३μm वा कम छ। यसमा उच्चतम समतलता छ र सूक्ष्म-एडी धाराहरू बनाउन सजिलो छैन। दूषित कणहरू हटाउनुहोस्। प्रक्रियामा प्रयोग हुने प्रतिक्रिया ग्यास यस स्तरमा पाइप गरिएको हुनुपर्छ।
एउटा भनेकोबीए ग्रेड ३१६ एलपाइप, जुन ब्राइट एनियल द्वारा प्रशोधन गरिएको छ र प्रायः चिपसँग सम्पर्कमा रहेका तर प्रक्रिया प्रतिक्रियामा भाग नलिने ग्यासहरूको लागि प्रयोग गरिन्छ, जस्तै GN2 र CDA। एउटा AP पाइप (एनिलिङ र पिकिङ) हो, जुन विशेष रूपमा प्रशोधन गरिएको छैन र सामान्यतया ग्यास आपूर्ति लाइनको रूपमा प्रयोग नगरिएका बाहिरी पाइपहरूको डबल सेटहरूको लागि प्रयोग गरिन्छ।
०४ पाइपलाइन निर्माण
पाइप मुखको प्रशोधन यस निर्माण प्रविधिको प्रमुख बुँदाहरू मध्ये एक हो। पाइपलाइन काट्ने र पूर्वनिर्मित गर्ने काम सफा वातावरणमा गरिन्छ, र साथै, काट्नु अघि पाइपलाइनको सतहमा कुनै हानिकारक चिन्ह वा क्षति नभएको सुनिश्चित गरिन्छ। पाइपलाइन खोल्नु अघि पाइपलाइनमा नाइट्रोजन फ्लस गर्ने तयारी गर्नुपर्छ। सिद्धान्तमा, उच्च-शुद्धता र उच्च-सफाई ग्यास प्रसारण र वितरण पाइपलाइनहरूलाई ठूलो प्रवाहसँग जोड्न वेल्डिङ प्रयोग गरिन्छ, तर प्रत्यक्ष वेल्डिङलाई अनुमति छैन। केसिङ जोइन्टहरू प्रयोग गर्नुपर्छ, र प्रयोग गरिएको पाइप सामग्री वेल्डिङको समयमा संरचनामा कुनै परिवर्तन हुनु आवश्यक छ। यदि धेरै उच्च कार्बन सामग्री भएको सामग्री वेल्ड गरिएको छ भने, वेल्डिङ भागको हावा पारगम्यताले पाइप भित्र र बाहिर ग्यास एकअर्कालाई छिर्न बाध्य पार्छ, जसले गर्दा कन्भेइङ ग्यासको शुद्धता, सुख्खापन र सफाई नष्ट हुन्छ, जसले गम्भीर परिणामहरू निम्त्याउँछ र उत्पादन गुणस्तरलाई असर गर्छ।
संक्षेपमा, उच्च-शुद्धता ग्यास र विशेष ग्यास प्रसारण पाइपलाइनहरूको लागि, विशेष रूपमा उपचार गरिएको उच्च-शुद्धता स्टेनलेस स्टील पाइप प्रयोग गर्नुपर्छ, जसले उच्च-शुद्धता पाइपलाइन प्रणाली (पाइपलाइन, पाइप फिटिंग, भल्भ, VMB, VMP सहित) लाई उच्च-शुद्धता ग्यास वितरणमा महत्त्वपूर्ण मिशन ओगटेको छ।
पोस्ट समय: नोभेम्बर-२६-२०२४