1. बल्क ग्यास प्रणाली परिभाषा:
अक्रिय ग्यासहरूको भण्डारण र दबाब नियन्त्रण ग्यास प्रकारहरू: विशिष्ट अक्रिय ग्यासहरू (नाइट्रोजन, आर्गन, कम्प्रेस्ड हावा, आदि)
पाइपलाइन आकार: 1/4 (निगरानी पाइपलाइन) देखि 12-इन्च मुख्य पाइपलाइन
प्रणालीका मुख्य उत्पादनहरू हुन्: डायाफ्राम भल्भ/बेलोज भल्भ/बल भल्भ, उच्च शुद्धता जडानकर्ता (VCR, वेल्डिङ फारम), फेरुल कनेक्टर, प्रेसर रेगुलेटिङ भल्भ, प्रेसर गेज, आदि।
हाल, नयाँ प्रणालीमा बल्क विशेष ग्यास प्रणाली पनि समावेश छ, जसले भण्डारण र यातायातका लागि स्थिर ग्यास सिलिन्डर वा ट्याङ्की ट्रकहरू प्रयोग गर्दछ।
2. शुद्धीकरण प्रणाली परिभाषा:
उच्च शुद्धता ग्यास पाइपलाइनहरूको लागि बल्क ग्याँसबाट अशुद्धता हटाउने
3. ग्याँस क्याबिनेट परिभाषा:
विशेष ग्यास स्रोतहरू (विषाक्त, ज्वलनशील, प्रतिक्रियाशील, संक्षारक ग्यासहरू) को लागि दबाव नियन्त्रण र प्रवाह निगरानी प्रदान गर्नुहोस्, र ग्यास सिलिन्डरहरू प्रतिस्थापन गर्ने क्षमता छ।
स्थान: विशेष ग्यासहरूको भण्डारणको लागि सब-फ्याब फ्लोर वा तल्लो तल्लामा अवस्थित स्रोत: NF3, SF6, WF6, आदि।
पाइपलाइनको आकार: आन्तरिक ग्यास पाइपलाइन, सामान्यतया 1/4 इन्च प्रक्रिया पाइपलाइनको लागि, 1/4-3/8 इन्च मुख्यतया उच्च शुद्धता नाइट्रोजन शुद्ध पाइपलाइनको लागि।
मुख्य उत्पादनहरू: उच्च शुद्धता डायाफ्राम भल्भहरू, चेक भल्भहरू, दबाव गेजहरू, दबाव गेजहरू, उच्च शुद्धता जडानकर्ताहरू (VCR, वेल्डिङ फारम) यी ग्यास क्याबिनेटहरूमा मूल रूपमा सिलिन्डरहरूको लागि स्वचालित स्विच गर्ने क्षमताहरू हुन्छन् जसले निरन्तर ग्यास आपूर्ति र सिलिन्डरहरूको सुरक्षित प्रतिस्थापन सुनिश्चित गर्दछ।
4. वितरण परिभाषा:
ग्यासको स्रोतलाई ग्यास सङ्कलन कुण्डलमा जडान गर्दै
लाइन साइज: चिप कारखानामा, बल्क ग्यास वितरण पाइपलाइनको साइज सामान्यतया १/२ इन्चदेखि २ इन्चसम्मको हुन्छ।
जडान फारम: विशेष ग्यास पाइपलाइनहरू सामान्यतया वेल्डिङद्वारा जोडिएका हुन्छन्, कुनै मेकानिकल जडान वा अन्य गतिशील भागहरू बिना, मुख्य रूपमा किनभने वेल्डिङ जडानमा बलियो सील विश्वसनीयता हुन्छ।
चिप फ्याक्ट्रीमा, ग्यास प्रसारण गर्न सयौं किलोमिटर ट्युबहरू जडान हुन्छन्, जुन मूलतया करिब २० फिट लामो र वेल्डेड हुन्छन्। केही ट्युबिङ बेन्डहरू र ट्यूबलर वेल्डिङ जडानहरू पनि धेरै सामान्य छन्।
5. बहु-प्रकार्य भल्भ बक्स (भल्भ मेनिफोल्ड बक्स, VMB) परिभाषा:
यो ग्यास स्रोतबाट विभिन्न उपकरणको छेउमा विशेष ग्यासहरू वितरण गर्न हो।
आन्तरिक पाइपलाइन आकार: 1/4 इन्च प्रक्रिया पाइपलाइन, र 1/4 - 3/8 इन्च शुद्ध पाइपलाइन। प्रणालीले कम्प्यूटर नियन्त्रण प्रयोग गर्न सक्छ सक्रिय भल्भ वा म्यानुअल भल्भको साथ कम लागत अवस्थाहरू आवश्यक छ।
प्रणाली उत्पादनहरू: उच्च शुद्धता डायाफ्राम भल्भहरू/बेलो भल्भहरू, चेक भल्भहरू, उच्च शुद्धता जोइन्टहरू (VCR, माइक्रो-वेल्डिङ फारम), दबाब नियन्त्रण गर्ने भल्भहरू, दबाव नाप्ने यन्त्रहरू र दबाब गेजहरू, इत्यादि। केही निष्क्रिय ग्यासहरूको वितरणको लागि, भल्भ मेनिफोल्ड प्यानल। - VMP (मल्टी-फंक्शन भल्भ डिस्क) मुख्य रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जसमा खुला ग्यास डिस्क सतह हुन्छ र बन्द स्पेस डिजाइन र अतिरिक्त नाइट्रोजन पर्ज आवश्यक पर्दैन।
6. माध्यमिक भल्भ प्लेट/बक्स (उपकरण हुकअप प्यानल) परिभाषा:
सेमीकन्डक्टर उपकरणलाई ग्यास स्रोतबाट उपकरणको अन्त्यमा आवश्यक ग्यास जडान गर्नुहोस् र सम्बन्धित दबाव नियमन प्रदान गर्नुहोस्। यो प्यानल एक ग्यास नियन्त्रण प्रणाली हो जुन VMB (मल्टी-फंक्शन भल्भ बक्स) भन्दा उपकरणको अन्त्यको नजिक छ।
ग्यास पाइपलाइन आकार: 1/4 - 3/8 इन्च
तरल पाइपलाइन आकार: 1/2 - 1 इन्च
डिस्चार्ज पाइपलाइन आकार: 1/2 - 1 इन्च
मुख्य उत्पादनहरू: डायाफ्राम भल्भ/बेलो भल्भ, एकतर्फी भल्भ, प्रेसर रेगुलेटिङ भल्भ, प्रेसर गेज, प्रेसर गेज, उच्च शुद्धता जोइन्ट (VCR, माइक्रो-वेल्डिङ), फेरुल जोइन्ट, बल भल्भ, नली, आदि।
पोस्ट समय: नोभेम्बर-22-2024