इलेक्ट्रोनिक ईन्जिनियरिङ् प्रणाली मा उच्च शुद्धता ग्यास पाइपलाइन को आवेदन

९०९ प्रोजेक्ट वेरी लार्ज स्केल इन्टिग्रेटेड सर्किट फ्याक्ट्री मेरो देशको इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगको नवौं पञ्चवर्षीय योजनामा ​​०.१८ माइक्रोनको लाइन चौडाइ र २०० एमएमको व्यास भएको चिप्स उत्पादन गर्ने प्रमुख निर्माण परियोजना हो।

धेरै ठूला-ठूला एकीकृत सर्किटहरूको निर्माण टेक्नोलोजीले माइक्रो-मेसिनिङ जस्ता उच्च-परिशुद्धता प्रविधिहरू मात्र समावेश गर्दैन, तर ग्यास शुद्धतामा उच्च आवश्यकताहरू पनि राख्छ।
परियोजना 909 को लागि बल्क ग्यास आपूर्ति संयुक्त राज्य अमेरिकाको Praxair उपयोगिता ग्यास कम्पनी लिमिटेड र सांघाईमा सम्बन्धित पक्षहरू बीच संयुक्त रूपमा ग्यास उत्पादन प्लान्ट स्थापना गर्न को लागी एक संयुक्त उद्यम द्वारा प्रदान गरिएको छ। ग्यास उत्पादन प्लान्ट 909 परियोजना कारखानाको छेउमा छ। भवन, लगभग 15,000 वर्ग मीटर को एक क्षेत्र कभर। विभिन्न ग्यासहरूको शुद्धता र आउटपुट आवश्यकताहरू

उच्च शुद्धता नाइट्रोजन (PN2), नाइट्रोजन (N2), र उच्च शुद्धता अक्सिजन (PO2) हावा विभाजन द्वारा उत्पादन गरिन्छ। उच्च शुद्धता हाइड्रोजन (PH2) इलेक्ट्रोलिसिस द्वारा उत्पादन गरिन्छ। Argon (Ar) र हेलियम (He) आउटसोर्सबाट खरिद गरिन्छ। अर्ध-ग्यासलाई परियोजना 909 मा प्रयोगको लागि शुद्ध र फिल्टर गरिएको छ। विशेष ग्यास बोतलहरूमा आपूर्ति गरिन्छ, र ग्यासको बोतल क्याबिनेट एकीकृत सर्किट उत्पादन प्लान्टको सहायक कार्यशालामा अवस्थित छ।
अन्य ग्यासहरूमा 4185m3/h को प्रयोग मात्रा, -70°C को दबाब ओस बिन्दु, र प्रयोगको बिन्दुमा ग्यासमा 0.01um भन्दा बढीको कण आकारको साथ सफा ड्राई कम्प्रेस्ड एयर CDA प्रणाली पनि समावेश छ। श्वासप्रश्वास संकुचित वायु (BA) प्रणाली, प्रयोगको मात्रा 90m3/h, दबाब ओस बिन्दु 2℃, प्रयोगको बिन्दुमा ग्यासमा कणको आकार 0.3um भन्दा बढी हुँदैन, प्रक्रिया भ्याकुम (PV) प्रणाली, उपयोग मात्रा 582m3/h, प्रयोगको बिन्दुमा भ्याकुम डिग्री -79993Pa। क्लिनिङ भ्याकुम (HV) प्रणाली, प्रयोग भोल्युम १४४०m3/h, प्रयोग बिन्दुमा भ्याकुम डिग्री -59995 Pa। एयर कम्प्रेसर कोठा र भ्याकुम पम्प कोठा दुवै 909 परियोजना कारखाना क्षेत्रमा अवस्थित छन्।

पाइप सामग्री र सहायक उपकरणहरूको चयन
VLSI उत्पादनमा प्रयोग हुने ग्यासको सरसफाईको आवश्यकता धेरै छ।उच्च शुद्धता ग्यास पाइपलाइनहरूसामान्यतया सफा उत्पादन वातावरणमा प्रयोग गरिन्छ, र तिनीहरूको सरसफाइ नियन्त्रण प्रयोगमा रहेको ठाउँको सरसफाइ स्तरसँग अनुरूप वा उच्च हुनुपर्छ! थप रूपमा, उच्च-शुद्धता ग्यास पाइपलाइनहरू प्रायः सफा उत्पादन वातावरणमा प्रयोग गरिन्छ। शुद्ध हाइड्रोजन (PH2), उच्च-शुद्धता अक्सिजन (PO2) र केही विशेष ग्यासहरू ज्वलनशील, विस्फोटक, दहन-समर्थन वा विषाक्त ग्यासहरू हुन्। यदि ग्यास पाइपलाइन प्रणाली अनुचित रूपमा डिजाइन गरिएको छ वा सामग्रीहरू अनुचित रूपमा छनोट गरिएको छ भने, ग्यास बिन्दुमा प्रयोग हुने ग्यासको शुद्धता मात्र घट्दैन, तर यो असफल पनि हुनेछ। यसले प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ, तर यो प्रयोग गर्न असुरक्षित छ र सफा कारखानाको सुरक्षा र सरसफाइलाई असर गर्ने, सफा कारखानामा प्रदूषण निम्त्याउँछ।
प्रयोगको बिन्दुमा उच्च-शुद्धता ग्यासको गुणस्तरको ग्यारेन्टी ग्यास उत्पादन, शुद्धिकरण उपकरण र फिल्टरहरूको शुद्धतामा मात्र निर्भर गर्दैन, तर पाइपलाइन प्रणालीमा धेरै कारकहरूद्वारा ठूलो हदसम्म प्रभावित हुन्छ। यदि हामी ग्यास उत्पादन उपकरण, शुद्धिकरण उपकरण र फिल्टरहरूमा भरोसा गर्छौं भने अनुचित ग्यास पाइपिंग प्रणाली डिजाइन वा सामग्री चयनको लागि क्षतिपूर्ति गर्न असीम रूपमा उच्च परिशुद्धता आवश्यकताहरू लगाउनु गलत हो।
909 परियोजनाको डिजाइन प्रक्रियाको क्रममा, हामीले "स्वच्छ बिरुवाहरूको डिजाइनको लागि कोड" GBJ73-84 (हालको मानक (GB50073-2001) हो), "कम्प्रेस्ड एयर स्टेशनहरूको डिजाइनको लागि कोड" GBJ29-90, "कोड" लाई पालना गर्यौं। अक्सिजन स्टेशनहरूको डिजाइनका लागि "GB50030-91, "हाइड्रोजन र अक्सिजनको डिजाइनको लागि कोड स्टेशनहरू" GB50177-93, र पाइपलाइन सामग्री र सामानहरूको चयनको लागि सान्दर्भिक प्राविधिक उपायहरू। "स्वच्छ बिरुवाहरूको डिजाइनको लागि कोड" ले पाइपलाइन सामग्री र भल्भहरूको चयन निम्नानुसार गर्दछ:

(१) यदि ग्यासको शुद्धता 99.999% भन्दा बढी वा बराबर छ र ओस बिन्दु -76°C भन्दा कम छ भने, 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) इलेक्ट्रोपोल गरिएको भित्री पर्खाल वा OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) इलेक्ट्रोपोलिस गरिएको भित्री पर्खाल प्रयोग गर्नुपर्छ। भल्भ डायाफ्राम भल्भ वा बेलो भल्भ हुनुपर्छ।

(२) ग्यासको शुद्धता ९९.९९% भन्दा बढी वा बराबर भएमा र ओस बिन्दु -६० डिग्री सेल्सियसभन्दा कम भएमा, OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील ट्यूब (304) इलेक्ट्रोपोलिस गरिएको भित्री पर्खाल प्रयोग गर्नुपर्छ। दहनशील ग्यास पाइपलाइनहरूका लागि प्रयोग गरिने बेलो भल्भहरू बाहेक, बल भल्भहरू अन्य ग्यास पाइपलाइनहरूका लागि प्रयोग गरिनुपर्छ।

(३) यदि सुख्खा कम्प्रेस्ड हावाको ओस बिन्दु -70 डिग्री सेल्सियस भन्दा कम छ भने, भित्री पर्खालमा पालिश गरिएको OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) प्रयोग गर्नुपर्छ। यदि ओस बिन्दु -40℃ भन्दा कम छ भने, OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304) वा हट-डिप गैल्भेनाइज्ड सिमलेस स्टील पाइप प्रयोग गर्नुपर्छ। भल्भ बेलो भल्भ वा बल भल्भ हुनुपर्छ।

(4) भल्भ सामग्री जडान पाइप सामग्री संग उपयुक्त हुनुपर्छ।

विनिर्देशहरू र सान्दर्भिक प्राविधिक उपायहरूको आवश्यकताहरू अनुसार, पाइपलाइन सामग्रीहरू चयन गर्दा हामी मुख्य रूपमा निम्न पक्षहरूलाई विचार गर्छौं:

(1) पाइप सामग्रीको हावा पारगम्यता सानो हुनुपर्छ। विभिन्न सामाग्री को पाइप फरक हावा पारगम्यता छ। यदि बढी हावा पारगम्यता भएका पाइपहरू चयन गरिएका छन् भने, प्रदूषण हटाउन सकिँदैन। स्टेनलेस स्टील पाइप र तामा पाइपहरू वायुमण्डलमा अक्सिजनको प्रवेश र क्षरण रोक्नको लागि राम्रो छन्। यद्यपि, स्टेनलेस स्टीलका पाइपहरू तामाका पाइपहरूभन्दा कम सक्रिय भएकाले, तामाका पाइपहरू वायुमण्डलमा रहेको आर्द्रतालाई तिनीहरूको भित्री सतहहरूमा प्रवेश गर्न अनुमति दिन बढी सक्रिय हुन्छन्। त्यसकारण, उच्च-शुद्धता ग्यास पाइपलाइनहरूको लागि पाइपहरू चयन गर्दा, स्टेनलेस स्टील पाइपहरू पहिलो छनौट हुनुपर्छ।

(2) पाइप सामग्री को भित्री सतह सोखिएको छ र ग्यास विश्लेषण मा सानो प्रभाव छ। स्टेनलेस स्टील पाइप प्रशोधन गरिसकेपछि, यसको धातुको जालीमा निश्चित मात्रामा ग्यास राखिनेछ। जब उच्च-शुद्धता ग्यास पास हुन्छ, ग्यासको यो भाग हावा प्रवाहमा प्रवेश गर्दछ र प्रदूषण निम्त्याउँछ। एकै समयमा, सोखन र विश्लेषणको कारण, पाइपको भित्री सतहमा धातुले पनि एक निश्चित मात्रामा पाउडर उत्पादन गर्नेछ, जसले उच्च-शुद्धता ग्यासमा प्रदूषण निम्त्याउँछ। 99.999% वा ppb स्तर भन्दा माथि शुद्धता भएका पाइपिङ प्रणालीहरूको लागि, 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) प्रयोग गर्नुपर्छ।

(3) स्टेनलेस स्टील पाइपहरूको पहिरन प्रतिरोध तामा पाइपहरूको भन्दा राम्रो छ, र हावा प्रवाह क्षरण द्वारा उत्पन्न धातु धुलो अपेक्षाकृत कम छ। सरसफाईका लागि उच्च आवश्यकता भएका उत्पादन कार्यशालाहरूले 00Cr17Ni12Mo2Ti कम कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइप (316L) वा OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइप (304), तामाका पाइपहरू प्रयोग गर्न पाइने छैन।

(४) ९९.९९९% वा ppb वा ppt स्तरभन्दा माथिको ग्यास शुद्धता भएको पाइपिङ प्रणालीका लागि वा "क्लीन फ्याक्ट्री डिजाइन कोड" मा तोकिएको N1-N6 को हावा सरसफाइ स्तर भएको सफा कोठामा, अल्ट्रा-क्लिन पाइप वाEP अल्ट्रा क्लीन पाइपहरूप्रयोग गर्नुपर्छ। सफा गर्नुहोस् "अत्यन्त चिकनी भित्री सतह संग सफा ट्यूब"।

(५) उत्पादन प्रक्रियामा प्रयोग हुने केही विशेष ग्यास पाइपलाइन प्रणालीहरू अत्यधिक संक्षारक ग्यासहरू हुन्। यी पाइपलाइन प्रणालीहरूमा पाइपहरूले पाइपको रूपमा जंग-प्रतिरोधी स्टेनलेस स्टील पाइपहरू प्रयोग गर्नुपर्छ। अन्यथा, पाइपहरू जंगका कारण क्षतिग्रस्त हुनेछन्। यदि सतहमा जंग दागहरू देखा पर्छन् भने, साधारण सिमलेस स्टील पाइपहरू वा जस्ती वेल्डेड स्टील पाइपहरू प्रयोग गरिनु हुँदैन।

(६) सिद्धान्तमा, सबै ग्यास पाइपलाइन जडानहरू वेल्डेड हुनुपर्छ। ग्याल्भेनाइज्ड स्टिल पाइपको वेल्डिङले ग्याल्भेनाइज्ड तहलाई नष्ट गर्ने भएकाले सफा कोठामा पाइपका लागि ग्याल्भेनाइज्ड स्टील पाइपहरू प्रयोग गरिँदैन।

माथिका कारकहरूलाई ध्यानमा राख्दै, &7 र परियोजनामा ​​चयन गरिएका ग्यास पाइपलाइनका पाइपहरू र भल्भहरू निम्नानुसार छन्:

उच्च-शुद्धता नाइट्रोजन (PN2) प्रणाली पाइपहरू 00Cr17Ni12Mo2Ti कम-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइपहरू (316L) इलेक्ट्रोपोलिस गरिएको भित्री पर्खालहरूबाट बनेका छन्, र भल्भहरू एउटै सामग्रीको स्टेनलेस स्टील बेलो भल्भहरूबाट बनेका छन्।
नाइट्रोजन (N2) प्रणालीका पाइपहरू 00Cr17Ni12Mo2Ti कम-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइपहरू (316L) इलेक्ट्रोपोलिस्ड भित्री पर्खालहरूबाट बनेका छन्, र भल्भहरू एउटै सामग्रीको स्टेनलेस स्टील बेलो भल्भहरूबाट बनेका छन्।
उच्च-शुद्धता हाइड्रोजन (PH2) प्रणाली पाइपहरू 00Cr17Ni12Mo2Ti कम-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइपहरू (316L) इलेक्ट्रोपोलिस गरिएको भित्री पर्खालहरूबाट बनेका छन्, र भल्भहरू एउटै सामग्रीको स्टेनलेस स्टील बेलो भल्भहरूबाट बनेका छन्।
उच्च-शुद्धता अक्सिजन (PO2) प्रणाली पाइपहरू 00Cr17Ni12Mo2Ti कम-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइपहरू (316L) इलेक्ट्रो-पालिस गरिएको भित्री पर्खालहरूबाट बनेका छन्, र भल्भहरू एउटै सामग्रीको स्टेनलेस स्टील बेलो भल्भहरूबाट बनेका छन्।
Argon (Ar) प्रणाली पाइपहरू 00Cr17Ni12Mo2Ti कम-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइपहरू (316L) इलेक्ट्रोपोलिस गरिएको भित्री पर्खालहरूबाट बनेका छन्, र एउटै सामग्रीको स्टेनलेस स्टील बेलो भल्भहरू प्रयोग गरिन्छ।
हेलियम (He) प्रणालीका पाइपहरू 00Cr17Ni12Mo2Ti कम-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइपहरू (316L) इलेक्ट्रोपोलिस्ड भित्री पर्खालहरूबाट बनेका छन्, र भल्भहरू एउटै सामग्रीको स्टेनलेस स्टील बेलो भल्भहरूबाट बनेका छन्।
क्लिन ड्राई कम्प्रेस्ड एयर (CDA) प्रणाली पाइपहरू OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइपहरू (304) पालिश गरिएको भित्री पर्खालहरूबाट बनेका छन्, र भल्भहरू एउटै सामग्रीको स्टेनलेस स्टील बेलो भल्भहरूबाट बनेका छन्।
सास फेर्ने कम्प्रेस्ड एयर (BA) प्रणाली पाइपहरू OCr18Ni9 स्टेनलेस स्टील पाइपहरू (304) पालिश गरिएको भित्री पर्खालहरूबाट बनेका छन्, र भल्भहरू एउटै सामग्रीको स्टेनलेस स्टील बल भल्भहरूबाट बनेका छन्।
प्रक्रिया भ्याकुम (PV) प्रणाली पाइपहरू UPVC पाइपहरूबाट बनेका हुन्छन्, र भल्भहरू भ्याकुम बटरफ्लाइ भल्भहरू समान सामग्रीबाट बनेका हुन्छन्।
सफाई भ्याकुम (HV) प्रणाली पाइपहरू UPVC पाइपहरूबाट बनेका हुन्छन्, र भल्भहरू भ्याकुम बटरफ्लाइ भल्भहरू समान सामग्रीबाट बनेका हुन्छन्।
विशेष ग्यास प्रणालीका पाइपहरू सबै 00Cr17Ni12Mo2Ti कम-कार्बन स्टेनलेस स्टील पाइपहरू (316L) इलेक्ट्रोपोलिस्ड भित्री पर्खालहरूबाट बनेका छन्, र भल्भहरू एउटै सामग्रीको स्टेनलेस स्टील बेलो भल्भहरूबाट बनेका छन्।

3 पाइपलाइन निर्माण र स्थापना
3.1 "स्वच्छ कारखाना भवन डिजाइन कोड" को खण्ड 8.3 ले पाइपलाइन जडानहरूको लागि निम्न प्रावधानहरू तोकेको छ:
(१) पाइप जडानहरू वेल्डेड हुनुपर्छ, तर हट-डिप ग्याल्भेनाइज्ड स्टिल पाइपहरू थ्रेड गरिएको हुनुपर्छ।
(२) स्टेनलेस स्टील पाइपहरू आर्गन आर्क वेल्डिङ र बट वेल्डिङ वा सकेट वेल्डिङद्वारा जोडिएको हुनुपर्छ, तर उच्च शुद्धताको ग्यास पाइपलाइनहरू भित्री पर्खालमा चिन्हहरू बिना बट वेल्डिङद्वारा जोडिएको हुनुपर्छ।
(३) पाइपलाइन र उपकरणहरू बीचको जडानले उपकरणको जडान आवश्यकताहरू पूरा गर्नुपर्छ। नली जडानहरू प्रयोग गर्दा, धातुको नलीहरू प्रयोग गर्नुपर्छ।
(4) पाइपलाइनहरू र भल्भहरू बीचको जडानले निम्न नियमहरूको पालना गर्नुपर्छ

① उच्च-शुद्धता ग्यास पाइपलाइनहरू र भल्भहरू जडान गर्ने सील सामग्री उत्पादन प्रक्रिया र ग्यास विशेषताहरूको आवश्यकता अनुसार धातु gaskets वा डबल ferrules प्रयोग गर्नुपर्छ।
②थ्रेडेड वा फ्ल्यान्ज जडानमा सील गर्ने सामग्री पोलिटेट्राफ्लुरोइथिलिन हुनुपर्छ।
3.2 विशिष्टता र सान्दर्भिक प्राविधिक उपायहरूको आवश्यकता अनुसार, उच्च-शुद्धता ग्यास पाइपलाइनहरूको जडान सकेसम्म धेरै वेल्डेड हुनुपर्छ। वेल्डिङको समयमा प्रत्यक्ष बट वेल्डिङबाट बच्नुपर्छ। पाइप आस्तीन वा समाप्त जोडहरू प्रयोग गर्नुपर्छ। पाइप आस्तीनहरू पाइपहरू जस्तै समान सामग्री र भित्री सतह चिकनी हुनुपर्छ। स्तर, वेल्डिंग को समयमा, वेल्डिंग भाग को अक्सिडेशन रोक्न को लागी, शुद्ध सुरक्षात्मक ग्यास वेल्डिंग पाइप मा पेश गरिनु पर्छ। स्टेनलेस स्टील पाइपहरूको लागि, आर्गन आर्क वेल्डिङ प्रयोग गर्नुपर्छ, र समान शुद्धताको आर्गन ग्यास पाइपमा प्रस्तुत गरिनुपर्छ। थ्रेडेड जडान वा थ्रेडेड जडान प्रयोग गर्नुपर्छ। फ्ल्याङ्गहरू जडान गर्दा, थ्रेडेड जडानहरूको लागि ferrules प्रयोग गर्नुपर्छ। अक्सिजन पाइप र हाइड्रोजन पाइपहरू बाहेक, जसमा धातुको ग्यास्केटहरू प्रयोग गर्नुपर्छ, अन्य पाइपहरूले पोलिटेट्राफ्लुरोइथिलिन ग्यास्केटहरू प्रयोग गर्नुपर्छ। ग्यास्केटहरूमा थोरै मात्रामा सिलिकन रबर लगाउनु पनि प्रभावकारी हुनेछ। सील प्रभाव बढाउनुहोस्। फ्ल्यान्ज जडानहरू बनाउँदा समान उपायहरू लिनु पर्छ।
स्थापना कार्य सुरु हुनु अघि, पाइपहरूको विस्तृत दृश्य निरीक्षण,फिटिंग, भल्भ, इत्यादि चलाउनु पर्छ। साधारण स्टेनलेस स्टील पाइपहरूको भित्री पर्खाल स्थापना गर्नु अघि अचार गर्नुपर्छ। अक्सिजन पाइपलाइनका पाइप, फिटिङ, भल्भ आदिलाई तेलबाट कडाइका साथ निषेध गरिनुपर्छ, र स्थापना गर्नुअघि सान्दर्भिक आवश्यकताहरू अनुसार कडाइका साथ घटाउनुपर्छ।
प्रणाली स्थापना र प्रयोगमा राख्नु अघि, वितरण र वितरण पाइपलाइन प्रणाली उच्च शुद्धता ग्यास संग पूर्ण शुद्ध हुनुपर्छ। यसले स्थापना प्रक्रियाको क्रममा संयोगवश प्रणालीमा खसेको धुलोका कणहरूलाई मात्र उडाउँदैन, तर पाइपलाइन प्रणालीमा सुकाउने भूमिका पनि खेल्छ, पाइपको पर्खाल र पाइप सामग्रीद्वारा अवशोषित आर्द्रता युक्त ग्यासको अंश हटाउँछ।

4. पाइपलाइन दबाव परीक्षण र स्वीकृति
(१) प्रणाली स्थापना भएपछि, विशेष ग्यास पाइपलाइनहरूमा अत्यधिक विषाक्त तरल पदार्थ ढुवानी गर्ने पाइपहरूको 100% रेडियोग्राफिक निरीक्षण गरिनेछ, र तिनीहरूको गुणस्तर स्तर II भन्दा कम हुनु हुँदैन। अन्य पाइपहरू नमूना रेडियोग्राफिक निरीक्षणको अधीनमा हुनेछन्, र नमूना निरीक्षण अनुपात 5% भन्दा कम हुनु हुँदैन, गुणस्तर ग्रेड III भन्दा कम हुनु हुँदैन।
(२) गैर-विनाशकारी निरीक्षण पास गरेपछि, एक दबाब परीक्षण गरिनु पर्छ। पाइपिङ प्रणालीको सुक्खापन र सफाई सुनिश्चित गर्न, हाइड्रोलिक दबाव परीक्षण गरिनु हुँदैन, तर वायमेटिक दबाव परीक्षण प्रयोग गर्नुपर्छ। सफा कोठाको सरसफाई स्तरसँग मेल खाने नाइट्रोजन वा कम्प्रेस्ड हावा प्रयोग गरेर हावाको चाप परीक्षण गर्नुपर्छ। पाइपलाइनको परीक्षण दबाव डिजाइन दबाव 1.15 गुणा हुनुपर्छ, र भ्याकुम पाइपलाइनको परीक्षण दबाव 0.2MPa हुनुपर्छ। परीक्षणको समयमा, दबाब बिस्तारै र बिस्तारै बढाउनुपर्छ। जब दबाव परीक्षण दबाबको 50% मा बढ्छ, यदि कुनै असामान्यता वा चुहावट फेला परेन भने, परीक्षण दबाबको 10% द्वारा चरण-दर-चरण दबाब बढाउन जारी राख्नुहोस्, र परीक्षण दबाब नभएसम्म प्रत्येक स्तरमा 3 मिनेटको लागि दबाब स्थिर गर्नुहोस्। । 10 मिनेटको लागि दबाब स्थिर गर्नुहोस्, त्यसपछि डिजाइन दबाबमा दबाब कम गर्नुहोस्। दबाब रोक्न समय चुहावट पत्ता लगाउने आवश्यकता अनुसार निर्धारण गर्नुपर्छ। फोमिङ एजेन्ट योग्य छ यदि त्यहाँ कुनै चुहावट छैन।
(3) भ्याकुम प्रणालीले दबाव परीक्षण पास गरेपछि, यसले डिजाइन कागजातहरू अनुसार 24-घण्टा भ्याकुम डिग्री परीक्षण पनि सञ्चालन गर्नुपर्छ, र दबाव दर 5% भन्दा बढी हुनु हुँदैन।
(4) चुहावट परीक्षण। ppb र ppt ग्रेड पाइपलाइन प्रणालीहरूका लागि, सान्दर्भिक विनिर्देशहरू अनुसार, कुनै चुहावटलाई योग्य मान्नु हुँदैन, तर चुहावट मात्रा परीक्षण डिजाइनको समयमा प्रयोग गरिन्छ, अर्थात्, हावाको टाइटनेस परीक्षण पछि चुहावट मात्रा परीक्षण गरिन्छ। दबाब कामको दबाव हो, र दबाब 24 घण्टाको लागि रोकिएको छ। औसत प्रति घण्टा चुहावट योग्यको रूपमा 50ppm भन्दा कम वा बराबर छ। चुहावट को गणना निम्नानुसार छ:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
सूत्रमा:
एक घण्टा चुहावट (%)
P1-परीक्षणको सुरुमा निरपेक्ष दबाव (Pa)
P2-परीक्षणको अन्त्यमा निरपेक्ष दबाव (Pa)
T1 - परीक्षणको सुरुमा निरपेक्ष तापमान (K)
T2 - परीक्षणको अन्त्यमा निरपेक्ष तापमान (K)